原子力显微镜(AFM)微悬臂针尖力传感器的研制
基本信息
结项摘要
本课题对AFM微悬臂针尖制作工艺进行了多途径的研究。实践表明干法与湿法相结合制作的针尖尖度更好。选择了两种工艺流程；一种是国外常用的等离子刻蚀与定向腐蚀相结合方法；另一种是利用我们自己独创的无显影光刻技术与定向腐蚀相结合的方法。后者比前者成品率高，工艺也简单，两种工艺流程都可以制作出原子级针尖。STM微细加工必须研制针尖，通过大量的实验工作，我们研制出一种自动控制制作针尖的电路和装置，研制成了针尖尖度可控、重复性稳定性好、针尖单一、速度快、成品率100%的制作针尖技术。用自制的针尖不仅观察到了石墨的原子图像，而且实现了用STM制作纳米PMMA图形。这充分验证了我们所研制的针尖制作技术是成功的。
项目摘要
项目成果
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
Ordinal space projection learning via neighbor classes representation
Ordinal space projection learning via neighbor classes representation
基于纳米铝颗粒改性合成稳定的JP-10基纳米流体燃料
基于纳米铝颗粒改性合成稳定的JP-10基纳米流体燃料
Image super-resolution based on sparse coding with multi-class dictionaries
Image super-resolution based on sparse coding with multi-class dictionaries
Phosphorus-Induced Lipid Class Alteration Revealed by Lipidomic and Transcriptomic Profiling in Oleaginous Microalga Nannochloropsis sp. PJ12
Phosphorus-Induced Lipid Class Alteration Revealed by Lipidomic and Transcriptomic Profiling in Oleaginous Microalga Nannochloropsis sp. PJ12
Numerical investigation on aerodynamic performance of a bionics flapping wing
Numerical investigation on aerodynamic performance of a bionics flapping wing
韩阶平的其他基金
相似国自然基金
基于原子力显微镜(AFM)微观电场的纳米焊接方法研究
基于纳米金柱阵列结构的原子力显微镜探针针尖形貌盲重构
面向AFM微悬臂刚度标定的微力测量系统及其关键技术研究
结合原子力显微镜（AFM）的纳米结构与器件的电学特性研究