巨磁电阻自旋阀读出磁头的研究

研制成功了巨磁电阻自旋阀多层膜,性能达到制备巨磁电阻自旋阀读出头的要求,并制造了巨磁电阻自旋阀读出头样品.研究了不同Ar分压下巨磁电阻自旋阀多层膜的高角X光散射图像、多层膜表面的原子力显微图像、俄歇深度形貌、高低场SV曲线、多层膜的伪霍尔效应及多层膜界面状态。研制成功了各向异性磁电阻膜和作为偏置用的软相邻层膜，并制造了各向异性磁电阻传感器。研究了尺寸效应，应用在器件结构设计中。设计制造了多种光刻掩模版，探索了一套制备巨磁电阻自旋阀传感器及读出磁头的工艺条件。设计制造了测量磁电阻变化率及传输曲线的仪器。设计制造了均匀高场永磁真空退火炉。改进了溅射台有关结构，提高了工作效率。