研究NVFRAM所使用的二类前沿铁电薄膜材料PZT,SBT中的晶粒大小及薄膜厚度对薄膜的铁电等性能的影响。搞清尺寸对薄膜中畴结构及畴壁动性,对薄膜-电极界面结构的影响和内在联系。研究这二类薄膜中尺寸效应的差异并进而得到铁电薄膜中尺寸效应的微观机理及物理图象。本研究将为下一代高密度记忆存储器的制备及降低使用电压提供理论和实验基础。
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数据更新时间:2023-05-31
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