我们发明了双偏振光测微激光器,将一支普通HeNe激光器自身演变成了一个79纳米精度且具有自标定功能的位移传感器,其应用前景巨大。但它的量程急待提高,精度需改进。本申请从原理上研究两种方法。一是用棱镜-折迭腔,二是用猫眼镜腔,使位移中的腔镜不敏感承厮牡脊旖前诙?朔灰浦泄夤β什晃榷ǎ罅砍讨泄庀穑鄣豢墒咕忍岣咭槐
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数据更新时间:2023-05-31
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