频率分裂激光腔调谐及其在晶片测量和纳米定位中的应用

本项目完成了三项研究：频率分裂光学波片测量的原理和实验研究，纳米定位原理研究以及频率分裂氦氖激光器功率调谐特性研究。其中的一项内容获2000年北京市科技进步（发明）二等奖一项。发表论文十多篇，其中被SCI收录的三篇。全部研究结果都是原创性的。发现了调谐中的三稳态特性和三百多兆赫的抑制宽度；首次将一支氦氖激光器自身演变成一台位移传感器，精度79纳米范围15毫米；首次用频率分裂技术实现了波片测量，精度已达到三角分。