基于无穷维系统方法的微装配中力测量与控制研究

目前微装配中还没有可靠达到微牛顿力分辨率的力测量及控制方法。微操作的终端执行器一般质量小，结构具有高柔性，实现柔性微结构的控制是相当困难的。这就要求引入高精度力和位置控制。传统上的力测量和控制中使用的有限维模型在微观操作中不再适用。需要研究基于无限维系统模型的微观操作中混合力/位置控制方法，以获得微观装配作业下控制的高精度和高可靠性，以改善微加工和装配的效率。本申请提出了一个可行的解决方案：开发一种高灵敏度传感器实时测量微接触力，并解决接触力和位置的实时控制。具体研究内容包括：开发一种具有高分辨率和宽动态响应的3维力传感器；研究基于无限维系统方法的混合力/位置控制方法，实现微观下混合力/位置控制；为微尺度下的加工制造装配提供一种可行的技术方法。这将促进微机电系统装配制造的自动化加工技术水平，实现微型系统和装置的可靠、高效率的批量制造。