微机械法-泊干涉型光学读出非致冷热成像技术研究

红外成像技术有着广泛的应用需求，但其昂贵的价格限制了它们的应用范围，光学读出非致冷热成像技术有望实现廉价而高性能的红外探测。本项目提出了一种新颖的微机械法-泊（法布里-泊罗）干涉型光学读出非致冷热成像系统，该系统包括三部分：红外光学系统；法布里-泊罗微腔红外探测器阵列；可见光读出部分。该系统为全光系统,不需要致冷设备和复杂的读取电路；该系统基于法布里-泊罗腔多光束干涉原理读取红外信号，具有系统结构紧凑简洁、探测灵敏度更高等特点；采用先进的体硅微机械技术制作法-泊微腔红外探测器阵列，易于大规模集成。研究内容主要包括：法布里-泊罗微腔阵列优化设计；可见光读出部分设计；系统等效噪声温差分析；采用体硅微机械技术制作出50×50法布里-泊罗微腔红外探测器阵列并完成初步性能测试。课题的开展将突破法-泊干涉型光学读出热成像阵列在设计、制造、测试等方面的关键基础技术。