ECR纳米碳膜的制备及摩擦学行为研究

研究新型ECR(扩散式和封闭式)等离子体溅射技术在同一基体上实现制备超硬、导电、超光滑多种杂化纳米结构碳膜。利用XPS，HRTEM等高精度材料分析手段表征碳膜的纳米结构、各种杂化轨道的含量，及纳米碳膜各杂化区之间的界面键合关系。使用多功能原子力探针及多尺度摩擦磨损仪测试碳膜的电磁特性和摩擦学性能（主要指摩擦和磨损）。阐明碳膜中各纳区组织结构与电磁行为和摩擦学行为的相关性。同时，揭示多尺度下碳膜摩擦学行为的变化规律。本项目的目标是寻找出无润滑状态下具有超低摩擦系数(0.003),金刚石同等硬度,石墨班导电性的新型ECR纳米碳膜，为大容量光记录系统中的关键摩擦副提供表面防护材料。