利用光弹效应和He离子注入侧向电隔离技术制成的平面型半导体激光器,由于不用常规平面半导体激光器所需的腐蚀、再生长等复杂工艺。使该类器件工艺简单、重复性好、成品率高,十分重要的实际应用价值,在国际上一直受到人们极大的重视。
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数据更新时间:2023-05-31
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