微波和等离子体化学合成机理研究

用轴向和径向朗廖探针、法拉第圆筒、能量分析器和等离子鞘层探测器对微波参数进行了复合认断，研究了微波等离子体参数和工艺参数之间的关系；对圆柱波导中的介质管内填充等离子体且外加有限轴向磁场时电磁波的传播特性进行了严格的理论分析。得到了电磁场分量、特征值、色散方程和复功率流的严格表达式。结果表明，在ECR情况下，尽管电导率张量超向无穷大，电磁波仍能传播并发现一个真正的谐振点ω（2）=（ω（ce，2）+ω（pe2）），在引情况下任何模式的波都不能传播；对微波有机和无机合成反庆进行了大量实验，研究了微波能作用下物质损耗因子与温度的关系，介质的极化作用，偶极矩与微波场的关系等对微波化学合成的作用机制。完善了一台多功能微波化学合成实验装置。