微波等离子体PIII剥离制备SOI机理研究
基本信息
批准号：19975014
项目类别：面上项目
资助金额：16.50
负责人：耿漫
学科分类：
依托单位：核工业西南物理研究院
批准年份：1999
结题年份：2002
起止时间：2000-01-01 - 2002-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：童洪辉,伍登学,关维恕,李鹏远,孙爱萍,许泽金
关键词：
SOI材料微波等离子体离子剥离
结项摘要
ＳＯＩ材料已成为大规模集成电路中不可或缺的重要材料。使用微波电子回旋共振方法提供单能的″纯净″的等离子体通过等离子体浸没离子注入硅片并结合低温等离子体氧化和键合进行真空退火剥离，从而得到ＳＯＩ材料。本项目将研究注入离子成份能量剂量对微空腔的形成机理及受热聚集膨胀剥离机制，并为初步完成工艺制备ＳＯＩ材料提供新方法。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
萃取过程中微观到宏观的多尺度超分子组装 --离子液体的特异性功能
萃取过程中微观到宏观的多尺度超分子组装 --离子液体的特异性功能
DOI：10.7538/hhx.2022.yx.2021092
发表时间：2022
2
近红外光响应液晶弹性体
近红外光响应液晶弹性体
DOI：10.7536/pc200335
发表时间：2020
3
多孔夹芯层组合方式对夹层板隔声特性影响研究
多孔夹芯层组合方式对夹层板隔声特性影响研究
DOI：10.3969/j.issn.1006-1355.2021.03.039
发表时间：2021
4
拟果蝇钠离子通道基因克隆及其生物信息学分析
拟果蝇钠离子通道基因克隆及其生物信息学分析
DOI：10.16409/j.cnki.2095-039x.2021.03.012
发表时间：2021
5
沥青炭填充提高SnO_2/还原氧化石墨烯负极材料Coulomb效率及储钠性能
沥青炭填充提高SnO_2/还原氧化石墨烯负极材料Coulomb效率及储钠性能
DOI：
发表时间：2020
耿漫的其他基金
相似国自然基金
1
微波等离子体表面处理机理研究
批准号：68671038
批准年份：1986
负责人：吴**鼎
学科分类：F0122
资助金额：2.00
项目类别：面上项目
2
微波ECR等离子体低温CVD制备薄膜材料方法的研究
批准号：58770106
批准年份：1987
负责人：甄汉生
学科分类：E0206
资助金额：3.50
项目类别：面上项目
3
原子级平滑表面剥离技术、机理研究及GOI材料制备
批准号：61774163
批准年份：2017
负责人：薛忠营
学科分类：F0401
资助金额：62.00
项目类别：面上项目
4
新方法制备高度无规剥离结构环氧树脂/粘土纳米复合材料及其剥离机理研究
批准号：20974064
批准年份：2009
负责人：陈斌
学科分类：B0505
资助金额：34.00
项目类别：面上项目