透氢性超薄无机复合膜研制和作为膜反应器材料评价研究

采用以扩散化学气相淀积工艺到金属有机物为前驱体在多孔氧化铝衬底上制备了钯、钯--镍、钯--钇和铈和酸锶薄膜，所制得薄膜晶化良好，表面光滑平整，膜厚仅为1um左右，建立了中高温气体透分离评价装置，研究了钯基合金复合膜的透氢性能。研究发现：纯钯薄膜的透氢率在200至500℃温度范围内为10（-7）至10（-6）md/m(2)SPa，相应的活化能为21.8KJ/md，氢氮分离系数在250℃时高达268。钯钇合金薄膜的透氢率高于纯钯，其活化能比纯钯低一个数量级，仅为2.25KJ/md(-1)。钯钇合金薄膜的抗氢脆能力明显优于纯钯。有较好的应用前景。值得进一步研究。