高密度低温二次电子辅助脉冲射频等离子体及柔性电子基板表面改性

柔性显示器、柔性纸等电子产品是未来微电子行业的重要发展趋势，而快速高效地提高柔性有机基板材料与ITO膜之间的黏结强度并保证使用过程中的可靠性是目前亟待解决的问题。通过脉冲控制技术，研究二次电子辅助RF脉冲放电等离子体作用的效果和机理，在更大的放电参数范围内获得稳定均匀的二次电子辅助RF脉冲放电系统；深入研究放电功率、气体压强、Ar/O2/N2混合比等对活性粒子浓度及二次电子性质影响，探索其与柔性基板材料表面改性效果的关系；给出反应控制参数在快速提高PET膜表面物理化学改性效果方面存在差异性的根本原因，总结影响材料界面黏结性的决定性因素，揭示二次电子辅助脉冲RF放电等离子体在柔性基板材料表面改性处理中的关键参数。为发展具有实际工业应用价值的二次电子辅助RF脉冲放电等离子体柔性基体材料表面快速高效改性技术，提供实验依据和技术支持。

通过理论分析和实验研究，较为完整的描绘出二次电子辅助RF脉冲放电等离子体作用的物理图像。为材料表面改性及在线诊断应用研究提供理论依据和技术支持。.首先通过对二次电子辅助RF脉冲放电等离子体的狼缪探针测试结果，分析研究了协同等离子体中的基本物理过程，讨论了探针电流的主要成分，验证了二次电子的产生，探讨了实验参数对等离子体密度提高及稳定性的影响。通过等离子体特征谱线强度的变化，验证了脉冲偏压对等离子体密度的提高起到了关键的作用。.进行系统实验研究，深入研究放电功率、气体压强、Ar/O2混合比以及二次电子能量等参数对改性效果的影响，探究出它们在快速提高PET表面能方面存在差异性的根本原因。获得了高能二次电子辅助RF放电等离子体在柔性基板表面快速改性处理中的关键技术参数，为柔性基板表面连续化表面改性应用研究提供理论依据和技术支持。.以GaN膜为模板，研究了二次电子辅助RF放电等离子体在线缺陷诊断的结果，为二次电子辅助RF放电等离子体新技术在半导体宽禁带半导体材料的在线生长中的应用奠定实验和理论基础。