激光捕捉微粒子实现微细加工的研究
基本信息
批准号：60106005
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：6.00
负责人：白剑
学科分类：
依托单位：浙江大学
批准年份：2001
结题年份：2002
起止时间：2002-01-01 - 2002-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：杨国光,候西云,叶志坚,朱方明,侯昌伦
关键词：
激光捕捉放射压微细加工
结项摘要
激光捕捉微粒子实现微细加工是一种精度高于离子或电子激光束加工的新型微细加工方法。它利用高倍显微物镜所聚合的激光在高强度粒子表面所产生的放射压使激光能驱动这些粒子在被加工表面产生移动，高速转动及振动。以这些被捕捉的粒子为工具，在加工表面反复运动能完成微米乃至纳米级的加工任务。该技术能使我国微细加工达到国际先进水平。....
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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