用激光辅助微细加工技术制作单片OEICs
基本信息
批准号：60277008
项目类别：面上项目
资助金额：21.00
负责人：叶玉堂
学科分类：
依托单位：电子科技大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：余学才,吴云峰,杨先明,范超
关键词：
光电集成单片集成激光辅助微细加工
结项摘要
本项目拟采用新颖的激光微细加工技术制作单片OEIC，利用其低温处理，直接写入等独特优势，可将同一基片上难以兼容的电、光两部分先后制做，且后一步制做光器件时不会对该基片上已做成的器件产生负面影响，因而光电两部分都可最优化，使单片OEIC整体性能大幅度提高，从而有效地解决单片OEIC中光、电两部分难于兼容 的这一巨大难题。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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