基于并行探针驱动的无掩模扫描等离子体加工技术的研究

本项目拟研究基于原子力显微镜（AFM）并行探针驱动的扫描等离子体纳米加工的机理和基础技术。即采用并行探针作为加工工具，在探针和样品之间引入反应等离子体进行扫描刻蚀加工，将等离子体加工刻蚀效率高、选择性好、适用材料广的优点与探针扫描加工分辨率高的长处相结合，发展一种新的微米和纳米器件加工方法。将从理论和实验两个方面研究局域等离子体产生的机理，在此基础上设计并制作带有微小等离子体放电器的具有自检测和自进给功能的扫描探针阵列，采用完全独立控制的并行加工方式实现具有实用速率的纳米加工，从而为高精度、高效率、低成本地加工小批量多品种微纳米器件提供一种行之有效的新方法。