基于大面积扫描探针显微镜的微加工机理研究

基本信息
批准号:59905006
项目类别:青年科学基金项目
资助金额:12.00
负责人:朱纪军
学科分类:
依托单位:东南大学
批准年份:1999
结题年份:2002
起止时间:2000-01-01 - 2002-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:路小波,曲宁松,王红,周庆,赵雪峰,商志农
关键词:
AFM刻画微细铣削精密电铸
结项摘要

首次提出基于大面积扫描探针显微镜的微加工技术。这种微加工技术是将微细三维铣削技术AFM探针刻画技术及精密电铸技术复合,既提高了零件的精度,又降低了其制造成本。本项肯低逞芯课⑾赶诚骷庸さ幕怼FM刻画的机理及微细电铸的机理,以及各种工艺参数对零件质量的影响。本研究为微细加工提出了新思路。国际、国内尚属空白。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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