首次提出基于大面积扫描探针显微镜的微加工技术。这种微加工技术是将微细三维铣削技术AFM探针刻画技术及精密电铸技术复合,既提高了零件的精度,又降低了其制造成本。本项肯低逞芯课⑾赶诚骷庸さ幕怼FM刻画的机理及微细电铸的机理,以及各种工艺参数对零件质量的影响。本研究为微细加工提出了新思路。国际、国内尚属空白。
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数据更新时间:2023-05-31
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