纳米硅量子效应及器件应用的研究
基本信息
批准号：69576025
项目类别：面上项目
资助金额：10.00
负责人：廖显伯
学科分类：
依托单位：中国科学院半导体研究所
批准年份：1995
结题年份：1998
起止时间：1996-01-01 - 1998-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：云峰,王燕,盛殊然,潘广勤,刁宏伟
关键词：
纳米硅量子效应
结项摘要
本课题主要工作：1.改造了常规PECVD设备，使之适合均匀且大面积生长a-Si/SiOx系统，降低了放电功率，大大提高了薄膜质量。2、首次用PECVD方法制备了Si/SiOx自镶嵌Si量子点系统，其反应气源为不同配比的SiH4和N2O，比较了不同淀积工艺参数和方案的实验结果并进行了优化实验。3.应用喇曼散射，红外吸收，高分辨透射电镜研究了样品的原子排列和键合状态，首次发现a-SiOx：H系统中存在a-Si原子团，高温退火后获得了镶嵌在SiO2中的纳米结构。4。实现了强的室温光致发光，研究了发光与退火温度的关系，采用量子限制模型对发光机制给出了明确解释。5.研究了nc-Si/SiO2多层膜纵向I-V特性，对其物理机制和应用可能性进行了初步探讨。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
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数据更新时间：2023-05-31
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