基于锥形光纤束的大范围高分辨成像机理与应用研究

研究锥形光纤束探针成像系统的工作机理及理论模型，以此为基础，将光纤技术巧妙地结合到扫描探针成像技术中，发展一种大范围、高效、快速，高分辨，高清晰、直接成像的柔性化微米级传像系统，克服了一般干涉测量方法在提供的信息量、信息的可靠性以及提取信息的手段方面存在的固有限制，解决了常规扫描探针显微镜信号微弱、干扰大，不能直接成像的缺点。本项目应用到MEMS的微几何量检测，精密光学元件表面检测及生物医学等方面，为广泛的生物医学、材料加工、测量与控制领域发展新型检测技术提供理论、方法与技术基础。