微型构件机械物理性能研究

研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法；制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件；导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系；研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率，分别求弹性模量和残余内应力，并通过测量悬臂梁反复振动后谐振频率和振幅的变化，评价疲劳特性；研制了载荷—挠度法微构件机理物理性能测试系统，该系统利用普通显微镜改造的显微干涉测量系统测量微薄膜形变，通过薄膜载荷—挠度曲线求弹性模量和残余内应力；并对不同材料的微梁和微膜进行了测试分析。