微型光学开关的基础研究
基本信息
批准号：59875049
项目类别：面上项目
资助金额：12.00
负责人：叶雄英
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：龚秋莲,汤扬华,丁海青,吕晓青
关键词：
微型机械微光学机电系统光开关
结项摘要
微型光学开关在光通信领域有广泛应用前景，是微型光机电系统研究的重要对象．本项目旨在研制两种微光学开关样机：静电驱动45°微镜开关和气泡驱动微镜开关，结构利用残余应力使微镜竖起．在实现1×N静电和1×2气泡微光学开关样机的同时，为今后进一步的微型光机电系统研究及微光学开关的应用奠定基础．
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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