新型单片微波有源压控滤波器基础技术研究

本课题的成果提供了GaAsMMIC负阻有源压控滤波器的设计理论和方法；建立了精确计算GaAs肖特基二极管低频到微波C-V特性的模型和理论，为其作为微波压控滤波顺中变容管使用提供了设计依据；成功地设计和制作了二种MMIC有源压控滤波器芯片，并进行了封装和测试，其3dB带宽为200MHZ，调频范围分别为200、400及600MHZ，得到了实现大调频范围的技术；开发了一套可行的GaAs MMIC有源压控滤波器工艺流程，其中采用了全离子注入、B（+）注入隔离、空气桥和背通孔等技术及0.8μm栅长工艺；在国内外学术刊物上发表论文12篇；培养博士生二名，都已获得博士学位。