离子诱导LiTaO3改性薄膜材料的制备及性能研究

利用两种简单技术研究了LiTaO3±C面电畴反转的制造工艺技术。一是利用Si（+1）、Si（+2）混合诱导技术：即先在LiTaO3+C面上制备出200nm厚的Au膜光栅，背面镀40nmCr膜，然后再注入Si（+1）和Si（+2），注入剂量为5.5×10(15)cm(-2)，注入能量为350KeV；二是采用单向加热法：即在LiTaO3-C面上先用光刻工艺制备出30nm厚的Ta膜光栅，然后再在含有光栅的面上加滴焦磷酸并用带有凹槽的LiTaO3晶片盖在酸液上，最后将它放在金属块上加热到230-260℃几分钟后就可完成电畴周期反转。这种方法更简单且制备出了10μm均匀反转电畴。通过以上两种方法都制备出了一阶（∧3.4μm）电畴周期反转光栅。并通过光泵浦这种准相位匹配的LiTaO3材料波导器件，分别获得了50μW485nm蓝光和1mW 532nm的绿光输出。以上均属首次报导。