金刚石膜的外延生长及其应用

基本信息
批准号:50072045
项目类别:面上项目
资助金额:20.00
负责人:冯克安
学科分类:
依托单位:中国科学院物理研究所
批准年份:2000
结题年份:2003
起止时间:2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:曹则贤,熊艳云,费允杰,王学,王学进,林彰达
关键词:
外延生长金刚石薄膜
结项摘要

金刚石的应用具有广阔前景。其在微电子学上的应用,要依赖于金刚石膜的异质外延生长。这是一个困难的国际上还在解决的问题。本课题组的申请就是集中研究力量,试图在解决这一问题上做出贡献。该课题组的申请是在已有的基础上进行的。主要解决Si衬底的预处理,晶格之间的不匹配及高表面能等问题,另外也在金刚石膜的电学、磁学的应用上做工作。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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