金刚石单晶薄膜的生长及其应用

基本信息
批准号:59632010
项目类别:重点项目
资助金额:60.00
负责人:冯克安
学科分类:
依托单位:中国科学院物理研究所
批准年份:1996
结题年份:1999
起止时间:1996-01-01 - 1999-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:杨杰,胡晓明,陈峰,谢仿卿,董晓,张青哲,熊艳云
关键词:
金刚石金刚石异质外延金刚石单晶膜
结项摘要

在多种表面仪器的监控下,利用分子剪裁,接技及表面处理等方法,实现在硅单晶衬底上外延金刚石单晶膜。通过研究异质界面形核机制,界面处原子结构,电子结构和匹配,特别是高密勒指数晶面上的原子结构,电子结构的匹配及克服二次形核问题,解决大面积处延问题,争取在国际上首先长出金刚石的异质外延单晶膜,研究金刚石膜在平板显示器中的应用。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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