纳米复合结构超硬薄膜制备与增韧的研究

综合利用物理汽相沉积和载能粒子束辅助沉积技术，制备主要由氮化物硬相和纯金属软相组成的纳米颗粒复合结构超硬（H≥70Gpa）和高韧性的薄膜，研究其材质、纳米膜粒结构、界面结合、力学性能之间的关系与规律，寻找改善韧性的有效途径，探讨超硬原因和增韧机理，为实现可人工裁剪的高强韧性纳米复合结构超硬 薄膜提供理论依据和关键制备技术。