综合利用物理汽相沉积和载能粒子束辅助沉积技术,制备主要由氮化物硬相和纯金属软相组成的纳米颗粒复合结构超硬(H≥70Gpa)和高韧性的薄膜,研究其材质、纳米膜粒结构、界面结合、力学性能之间的关系与规律,寻找改善韧性的有效途径,探讨超硬原因和增韧机理,为实现可人工裁剪的高强韧性纳米复合结构超硬 薄膜提供理论依据和关键制备技术。
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数据更新时间:2023-05-31
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