CVD金刚石薄膜半导体器件组织演变的热力学和动力学
基本信息
批准号：59871065
项目类别：面上项目
资助金额：12.00
负责人：金展鹏
学科分类：
依托单位：中南大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：刘忠毅,吴凯生,王日初,刘华山,王涛
关键词：
热力学动力学半导体
结项摘要
优化计算了一系列金刚石半导体材料体系的相图，包括Au-Zr，Au-Ti，Au-C，Au-Ti-C，Au-Zr-C，Au-Ti-Zr等体系，并建立了相应的相图和热力学数据库。采用扩散偶方法，并结合计算工作，研究了C在Au-Ti及Au-Zr二元合金中的扩散通道。以上这些工作为对Au-Ti-Zr-C系统的金刚石半导体材料的制备和使用过程中各组成变化，中间相形成和消长，界面迁移等组织结构的演变进行了模拟和预测；为开发性能稳定可靠的半导体器件和选择合理的工艺条件提供了重要的理论依据。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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