纳米尺度下DRIE理论与实验研究及其在微纳复合加工中的应用

本课题通过深入研究DRIE在纳米尺度下的工艺理论，如气体传输理论、反应机制以及表面扩散等，结合工艺中影响较大的Lag,Footing,Microloading等现象，建立仿真模型。结合相关实验进行参数提取，得到能够精确预测微纳米DRIE的模拟工具，从而全面掌握和控制DRIE加工技术。通过精确控制侧壁和表面形状以及合理利用Lag,Footing效应，在微结构的基础上加工得到可控的纳结构，从而实现新型超疏水微纳米复合结构的加工。结合PECVD碳纳米管生长技术相结合在非平面衬底上制备纳米草等超摩擦结构。最终形成一套具备良好可预测性、可控性和可重复性的DRIE微纳米复合结构加工技术，在制备大规模、高精度的三维超疏水和超摩擦结构方面得到应用。