DCArcPlasmaJetCVD光学金刚石厚膜生长模型与仿真
基本信息
批准号：59872003
项目类别：面上项目
资助金额：13.00
负责人：刘国权
学科分类：
依托单位：北京科技大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：张禹,宋晓艳,钟国仿,陈雨来,李洪香
关键词：
光学金刚石膜厚膜生长可视仿真
结项摘要
研究开发直流电弧等离子体喷射CVD法制备光学级金刚石厚膜同质外延生长过程的可视花仿真技术，并充分发挥该技术可将离子/分子和显微组织两个层次研究有机结合和直观、高效榷捞赜攀疲钊胙芯客庋由つＪ胶突疲⑽恋砉ひ沼呕峁┮恢中赂ㄖ侄巍Ｉ鲜鲅芯砍晒嗫赏乒阌τ糜谄渌麮VD金刚石膜生长过程研究和工艺优化。.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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