用于SOC的高速低功耗器件研究
基本信息
批准号：90207004
项目类别：重大研究计划
资助金额：200.00
负责人：黄如
学科分类：
依托单位：北京大学
批准年份：2002
结题年份：2006
起止时间：2003-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：钱鹤,许晓燕,郑陶雷,张国艳,邹建平,卜伟海,陈大鹏,张莉,刘文安
关键词：
器件结构理论模型工艺制备
结项摘要
通过对小尺寸GCHT器件、超薄体全耗尽SOI MOSFET、DSOI器件的研究实现高速低功耗器件，在分析器件工作物理机制的基础上，进行器件优化设计，理论模型建立及相应参数提取工作，完成关键工艺及工艺集成研究，研制出适于SOC的高速低功耗器件，并试制相应的电路模块，为同时提高SOC电路速度和功耗性能奠定基础。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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