低能氮离子注入金刚石薄膜的氮化改性研究
基本信息
批准号：10075012
项目类别：面上项目
资助金额：21.00
负责人：王培南
学科分类：
依托单位：复旦大学
批准年份：2000
结题年份：2003
起止时间：2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：郑家骠,胡谊梅,刘征平,杨炜东
关键词：
物理性质金刚石离子注入
结项摘要
用氮气直流辉光放电方法产生的氮原子离子束对金刚石膜表面进行氮化。研究氮化层的形成、结构，尤其与金刚石膜的结构、氮化参数和氮化程度的关系，从而理解氮化过程的机理。研究氮化金刚石膜的物理特性，研究物理特性随氮化结构的变化。.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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