离子束冶金学研究一离子束增强沉积碳化物和碳薄膜研究

基本信息
批准号:59081410
项目类别:专项基金项目
资助金额:9.00
负责人:李恒德
学科分类:
依托单位:清华大学
批准年份:1990
结题年份:1993
起止时间:1991-01-01 - 1993-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:李恒德,李文治,冯嘉尤,闵章
关键词:
碳薄膜离子束增强沉积碳化物薄膜
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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