离子束冶金学研究一离子束增强沉积碳化物和碳薄膜研究
基本信息
批准号：59081410
项目类别：专项基金项目
资助金额：9.00
负责人：李恒德
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：1990
结题年份：1993
起止时间：1991-01-01 - 1993-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：李恒德,李文治,冯嘉尤,闵章
关键词：
碳薄膜离子束增强沉积碳化物薄膜
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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