离子注入合成碳化硅的研究
基本信息
批准号：59920032
项目类别：专项基金项目
资助金额：5.00
负责人：李恒德
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：1999
结题年份：2001
起止时间：2001-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：
关键词：
离子注入碳化硅
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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