LiTaO3薄膜红紫外线智能火焰探测器关键技术研究

对LiTaO3薄膜红紫外线智能火焰探测器关键技术的研究，是要在建立LiTaO3薄膜敏感单元的光-热-电转换机理的模型基础上，提供LiTaO3薄膜智能火焰传感器设计和制造方案, 掌握LiTaO3薄膜溶胶-凝胶成膜工艺和基于MEMS工艺的探测器微制造技术，研究基于学习矢量量化(LVQ)神经网络的火灾分类算法和用DSP芯片实现算法与传感器的集成，制造出高性能的红紫外线火焰探测器。通过本项目的研究，可以完善LiTaO3薄膜热释电火焰探测器中光热电转换和探测的理论基础，发展基于MEMS工艺的器件制造技术。研究成果具有将红外线和紫外线探测功能融合在一个火焰探测器微结构中的特色，结合智能火灾分类算法，该探测器能克服传统火焰探测器误报率高、灵敏度低和响应速度慢等缺点，具有重要的工程应用价值。