多层复合薄膜高频光声效应的理论及其在纳米薄膜热物性测定中的应用

本工作拟对多层复合薄膜高频光声效应进行热力耦合研究，以掌握其特性、规律和计算方法，发展现有的光声效应理论。使得光声测试技术能应用于纳米薄膜热物理性质的测试，并可指导高频激光与多层复合材料相互作用中的热应力波及激光超声研究。其对纳／微电子机械系统材料、功能梯度材料、高导热或热障材料、生物材料和光学材料等的研制开发、结构与成分分析以及产品的质量控制与检测有重要意义。同时，对研究超薄材料的结构、尺寸对其物性的影响也有重要作用。