采用过滤阴极真空电弧技术制备掺硼非晶金刚石薄膜,并用作非晶硅太阳电池p型窗口层,提高电池转化效率。分析掺硼非晶金刚石薄膜的力学、光学和电学性能,表征薄膜的结构细节,并利用分子动力学模拟计算薄膜的结构和沉积过程,从而理解掺硼非晶金刚石薄膜的掺杂机制,有效控制过滤阴极真空电弧技术的掺杂、沉积工艺。研究后处理对掺硼非晶金刚石薄膜结构和性能的影响规律,降低薄膜的缺陷密度,控制缺陷形态。分析掺硼非晶金刚石薄
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数据更新时间:2023-05-31
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