利用F2准分子激光实现亚半微米光刻
基本信息
批准号：69878029
项目类别：面上项目
资助金额：17.00
负责人：黄惠杰
学科分类：
依托单位：中国科学院上海光学精密机械研究所
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：路敦武,王润文,袁才来,蒋宝财,沈蓓军,杜龙龙
关键词：
半亚微米光刻F2激光光学光刻
结项摘要
利用波长为157nm的F2准分子激光和全反射式缩倍投影光刻物镜，实现亚半微米光刻分辩率。本研究将证实通过改变成像方式及缩短曝光波长，光学光刻在下世纪初的４兆位半导体器件制造中仍具强大生命力，从而大大降低该类器件的设备投资。同时，本研究也是光学光刻领域的一个创新。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
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数据更新时间：2023-05-31
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