深亚微米光刻新型光源材料的研究及其应用
基本信息
批准号：50132010
项目类别：重点项目
资助金额：200.00
负责人：沈徳忠
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：2001
结题年份：2005
起止时间：2002-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：霍玉晶,李强,沈光球,王晓青,段玉生,张阳,何淑芳,孙同庆
关键词：
硼酸铯锂频率转换深亚微米光刻
结项摘要
通过系统的晶体生长、微观结构分析和性能测试研究阐明CL BO晶体缺陷形成和潮解开裂的微观机制，缺陷对晶体性能的影响，以及克服缺陷和开裂的有效途径，探索出生长高质量大尺寸CL BO单晶的最佳条件和方法。同时，采用CL BO晶体倍频器设计并初步实现全固态深紫外波段较大功率的激光输出，为取代准分子激光器，作为集成电路光刻的新型光源开辟途径。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
主控因素对异型头弹丸半侵彻金属靶深度的影响特性研究
主控因素对异型头弹丸半侵彻金属靶深度的影响特性研究
DOI：10.13465/j.cnki.jvs.2020.09.026
发表时间：2020
2
基于余量谐波平衡的两质点动力学系统振动频率与响应分析
基于余量谐波平衡的两质点动力学系统振动频率与响应分析
DOI：10.6052/1672⁃6553⁃2017⁃059
发表时间：2018
3
动物响应亚磁场的生化和分子机制
动物响应亚磁场的生化和分子机制
DOI：10.13488/j.smhx.20190284
发表时间：2019
4
上转换纳米材料在光动力疗法中的研究进展
上转换纳米材料在光动力疗法中的研究进展
DOI：
发表时间：2017
5
2A66铝锂合金板材各向异性研究
2A66铝锂合金板材各向异性研究
DOI：
发表时间：2017
沈徳忠的其他基金
相似国自然基金
1
紫外亚微米聚硅烷光刻胶的研究
批准号：59873015
批准年份：1998
负责人：傅鹤鉴
学科分类：E0309
资助金额：13.00
项目类别：面上项目
2
用铜激光倍频光实现亚微米光刻
批准号：69376020
批准年份：1993
负责人：梁培辉
学科分类：F0406
资助金额：5.60
项目类别：面上项目
3
超深亚微米新型槽栅CMOS器件及相关技术研究
批准号：60376024
批准年份：2003
负责人：郝跃
学科分类：F0406
资助金额：25.00
项目类别：面上项目
4
面向空间应用深亚微米SOI集成器件辐照损伤机理研究
批准号：61176095
批准年份：2011
负责人：毕津顺
学科分类：F0406
资助金额：77.00
项目类别：面上项目