碳氢和硅氢复杂体系的紧束缚理论研究

基本信息
批准号:69876035
项目类别:面上项目
资助金额:9.00
负责人:潘必才
学科分类:
依托单位:中国科学技术大学
批准年份:1998
结题年份:2001
起止时间:1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:李永平,裴珉,刘力,王炜
关键词:
紧束缚势模型金刚石薄膜氢化非晶硅
结项摘要

构造出具有较好传递性碳氢体系和硅氢体系紧束缚势模型,用之于研究人工金刚石膜生长的动力学过程,探讨不同吸附质的吸附对膜质量的影响,以便提出人工控制膜质量的方案;研究氢化非晶硅中的S-W效应,及氢氘的迁移与缺陷态的产生的关系,理解氢化非晶硅的能量恍实偷脑颉1究翁馓畈构谠诮羰渴蒲芯可系目瞻祝状卧诜橇阄孪卵芯拷鸶帐ぁ

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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