微型机械电子系统（MEMS）测试计量技术与理论研究

MEMS测试计量技术与理论是MEMS设计、制造及质量控制和评价的关键环节之一，迫切需要进行系统而深入的理论研究。本项目的主要研究内容包括MEMS微结构特征的分析、提取、表征和评定理论，对构造基准面建立数学模型，对功能特征区域用微结构分割技术进行识别；基于扫描白光干涉法对薄膜和微构件位移、变形进行测量与表征，提出相干峰提取的新算法；片内集成专用测试结构和大加速度、高低温条件下MEMS动静态测试的关键技术；薄膜和微构件材料的力学性能测量与表征，依据归一化思想，研究三种测试方法评定结果的一致性，并建立相应的评价模型；MEMS器件和系统测试与评定的标准化；对MEMS几何参数测量研制能溯源到光波波长的纳米结构样板，并把样板的制备和量值溯源统一起来。本研究将系统研究MEMS测试计量理论与技术，初步建立MEMS位移、变形、特征结构、力学性能以及动静态特性的标准评价体系，满足MEMS技术发展的需要。