微电子器件用过渡金属碳氮化物微米晶体的合成与控形

微型机电装置急需高强度高导热低电阻低扩散的材料作为其内部功能连接部件，过渡金属碳氮化物具备上述性能而受到重视。本课题拟合成Nb、Ta及Ti的碳氮化物，并使其晶体生长成有实用价值的几何外形和尺寸，形成规则的四方柱状和圆针形微米单晶体。微米单晶体生长及外形控制技术，可用于大量生产微米单晶部件，对发展微型机电器件有重要意义。