氧等离子体对III-V族氮化物的光学、电学性质影响的研究
基本信息
批准号：60406007
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：15.00
负责人：陈志忠
学科分类：
依托单位：北京大学
批准年份：2004
结题年份：2007
起止时间：2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：陆羽,康香宁,陆敏,胡成余,赵婧,周晓瑜,杨华,王琦,潘尧波
关键词：
IIIV族氮化物欧姆接触p型激活等离子体氧化
结项摘要
低接触电阻率的p型氮化物欧姆接触一直没有很好的解决。高温氧气氛下的表面处理和p电极合金是解决上述问题的可能途径。但是高温氧气处理会对材料表面造成损伤，氧化慢，难以控制。低温等离子体是干法腐蚀氮化物的反应物质，由于其较高的化学活性，灵活的处理工艺，热损伤小，可以对材料进行可控的改性。等离子体氧化对p型氮化物表面处理和p电极合金的影响的研究目前还没有报道，该项研究将对将为p型欧姆接触的制备提供一个新的
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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