电介质纳米薄膜导热系数的分子动力学模拟

用分子动力学方法模拟电介质纳米薄膜的导热系数，探讨纳米尺度下电介质（硅）薄膜导热系数的尺寸效应，从分子的尺度研究纳米尺度薄膜导热的物理机制以及载热粒子的平均自由程与薄膜尺度相当时量子效应对热量传输的影响，该研究可为目前无法实验测量的硅纳米薄膜的导热系数提供可靠的数值预报方法，为微硅器件的热分析和热设计提供物性参数。