随着纳米尺度材料或结构制备技术等的发展,微机电系统正从微米尺度向纳米尺度发展,即形成NEMS新型系统。这一发展要求弄清材料在纳米尺度下的力学性能。本项目将利用纳米试验技术和分子动力学模拟技术相结合,并借助纳米尺度材料加工技术,对两端固定的微小尺度(从微米到纳米)单晶硅梁和二氧化硅梁进行三点弯曲研究。目的是研究梁的尺度从宏观到微观、纳观的逐渐变化过程中,梁的强度、刚度、断裂韧性等力学性能参数随梁尺寸
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数据更新时间:2023-05-31
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