高分辨率光扫描型二维PH图象传感器及其成像研究
基本信息
批准号：60176028
项目类别：面上项目
资助金额：23.00
负责人：牛文成
学科分类：
依托单位：南开大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：张福海,俞梅,孙学珠,陈兴梧,那兴波,罗伟栋,贾芸芳,李华伟,谢建湘
关键词：
光扫描型二维PH图像传感器高分辨率
结项摘要
以LAPS为基础,光扫描与硅膜超薄化技术相结合,研究具高分辨率,并能以可视化的化学图像硎救芤篜H分布的光扫描型二维PH图像传感器.结合成像实验,重点研究硅膜厚度,硅膜晶片结构,成膜均匀性及光点尺寸与扫描速度等对二维PH图像的影响;给出理论结果与理论模型,为允疽禾錚H 参数的二维图像提供新型的传感器件.国内外未见报道.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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