准一维纳米硅材料的制备与物性研究

本项目主要开展准一维纳米硅材料（包括纳米硅线和纳米硅管）的制备和物性研究。目的是获得高质量阵列化纳米单晶硅丝和纳米硅管。准一维纳米硅材料主要采用化学气相沉积法制备。包括制备不同直径纳米硅线和硅管。上述材料的结构分析和表征是研究内容之一。它们的物性研究，包括半导体性质、输运性质和光电特性等与光通讯器件特性相关的物理性质。