电子回旋共振等离子体沉积纳米固体的机理研究
基本信息
批准号：19175046
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：邬钦崇
学科分类：
依托单位：中国科学院合肥物质科学研究院
批准年份：1991
结题年份：1994
起止时间：1992-01-01 - 1994-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：高庆达,匡静安,隋毅峰,曾光石,汪建华
关键词：
***
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数据更新时间：2023-05-31
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