在电子回旋共振等离子体中区域高浓度生长氮化镓的研究
基本信息
批准号：59872050
项目类别：面上项目
资助金额：11.00
负责人：姚鑫兹
学科分类：
依托单位：中国科学院物理研究所
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：江德仪,陈广超,杜小龙
关键词：
电子回旋共振汽相沉积氮化镓
结项摘要
在电子回旋共振等离子体（ECRP）中，应用金属有机化合物汽相沉积法（MOCVD）来生长高柿康牡兀℅aN）薄膜。通过在衬底表面局部空间高浓度镓、氮的方法，得到高的薄膜生长速率，同时降低衬底温度，并获得高质量的材料，从而为微电子工业研制新型的发兰光二极管和兰光激光器提出了一种新的MOCVD法。同时，对结果进行物理、化学分析。.
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
多能耦合三相不平衡主动配电网与输电网交互随机模糊潮流方法
多能耦合三相不平衡主动配电网与输电网交互随机模糊潮流方法
DOI：10.13334/j.0258-8013.pcsee.190276
发表时间：2020
2
相关系数SVD增强随机共振的单向阀故障诊断
相关系数SVD增强随机共振的单向阀故障诊断
DOI：
发表时间：2018
3
入海泥沙减少对黄河三角洲潮滩粒度特征的影响--物理模型实验
入海泥沙减少对黄河三角洲潮滩粒度特征的影响--物理模型实验
DOI：10.16028/j.1009-2722.2022.007
发表时间：2022
4
黏性沉积物中的古地震触变流动变形
黏性沉积物中的古地震触变流动变形
DOI：10.7605/gdlxb.2018.04.044
发表时间：2018
5
耐磨钢铁材料中强化相设计与性质计算研究进展
耐磨钢铁材料中强化相设计与性质计算研究进展
DOI：10.7502/j.issn.1674-3962.201906027
发表时间：2019
姚鑫兹的其他基金
批准号：19175066
批准年份：1991
资助金额：4.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
在电子回旋共振等离子体中等离子体鞘的研究
批准号：19175066
批准年份：1991
负责人：姚鑫兹
学科分类：A27
资助金额：4.00
项目类别：面上项目
2
电子回旋波非共振加热等离子体实验研究
批准号：18975059
批准年份：1989
负责人：罗耀全
学科分类：A27
资助金额：3.00
项目类别：面上项目
3
电子回旋共振等离子体沉积纳米固体的机理研究
批准号：19175046
批准年份：1991
负责人：邬钦崇
学科分类：A2702
资助金额：4.00
项目类别：面上项目
4
磁多极电子回旋共振微波等离子体的波吸收特性研究
批准号：19175011
批准年份：1991
负责人：顾彪
学科分类：A2701
资助金额：7.00
项目类别：面上项目