微透镜阵列与CCD的集成理论及技术研究

我国在微透镜阵列与CCD的集成技术的研究大部分局限于工艺摸索，由于亚微米微透镜与微透镜阵列的制作工艺尚处于实验阶段，目前还缺少对该类光学元件的光学性质进行系统全面分析的方案。因此，本项目拟对亚微米量级的微透镜阵列技术进行研究，探索各种参数对它们光学性能的影响，建立完整的理论对该类光学元件的开发研制、应用以及进一步研究具有重要的科学意义。本项目还提出了一种大规模微透镜阵列的飞秒激光超精细激光加工制造新方法，即首先通过在超硬材料上制备出微透镜阵列的精密模具，然后利用具有高精度光刻和紫外微压印技术，加工大规模的微透镜阵列，为飞秒激光超精细、大批量加工复制微透镜阵列及其它微光学元器件的工业应用开辟一个新的途径。项目研究的学术思想及研究方法有创新，研究结果具有较强的科学意义及工业应用价值。