亚稳态条件下金刚石生长条件和机理的研究

我们通过大量的实验获得了化学汽相沉积清生长的金刚石多晶薄膜的表面形貌与生长条件之间的关系，测得了生长因子外，从理论上推导出了表面形貌与外因子和薄膜厚度的关系。从金刚石在汽相中的生长主要依赖于表面上的单个悬桂键中心和碳氢活性基因推导出了金刚石的生长速率极大值所对应的生长条件，建立了生长表面活性基因的吸—脱附模型，并求出了与实验结果较一致的生长速率公式，从而解释了过高衬底温度下，生长速率随衬底温底升高而下降的现象。利用亚稳态条件下化学气相法生长金刚石的机理，在国际上首次剩成了与金刚石具有相类似亚稳条件的β-C3N4多晶薄膜。对有效地控制金刚石薄膜的形成和新型材料的研制具有重要意义。